[实用新型]一种用于基板脱膜的输送装置有效
申请号: | 201520193071.8 | 申请日: | 2015-04-01 |
公开(公告)号: | CN204506070U | 公开(公告)日: | 2015-07-29 |
发明(设计)人: | 黄海峰;梁海华 | 申请(专利权)人: | 深圳市和科达精密清洗设备股份有限公司 |
主分类号: | B32B38/10 | 分类号: | B32B38/10 |
代理公司: | 广州嘉权专利商标事务所有限公司 44205 | 代理人: | 唐致明 |
地址: | 518000 广东省深圳*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | 本实用新型公开了一种用于基板脱膜的输送装置,包括作为承载结构的机座;输送平台,输送平台设于机座上,并能通过旋转轴绕其转动,从而使输送平台可相对水平面倾斜;若干动力轮组,其相互平行的安装在输送平台上,并与旋转轴垂直,动力轮组可绕其轴心旋转,驱动搁置在其上的基板移动。本实用新型可以将基板以倾斜状态输送至脱膜工位,便于膜层在重力的作用下与基板完全分离,节省了为消除膜层粘连而做的进一步清理步骤,有效的提升了工作效率。 | ||
搜索关键词: | 一种 用于 基板脱膜 输送 装置 | ||
【主权项】:
一种用于基板脱膜的输送装置,其特征在于:包括 作为承载结构的机座; 输送平台,所述输送平台设于所述机座上,并能通过旋转轴绕其转动,从而使所述输送平台可相对水平面倾斜; 若干动力轮组,其相互平行的安装在所述输送平台上,并与所述旋转轴垂直,所述动力轮组可绕其轴心旋转,驱动搁置在其上的基板移动。
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