[实用新型]一种改进型角反射镜激光干涉仪有效
| 申请号： | 201520184535.9 | 申请日： | 2015-03-30 |
| 公开（公告）号： | CN204439010U | 公开（公告）日： | 2015-07-01 |
| 发明（设计）人： | 张白;康学亮;毛建东 | 申请（专利权）人： | 北方民族大学 |
| 主分类号： | G01B9/02 | 分类号： | G01B9/02 |
| 代理公司： | 四川力久律师事务所 51221 | 代理人： | 林辉轮 |
| 地址： | 750021 宁夏回族*** | 国省代码： | 宁夏;64 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种改进型角反射镜激光干涉仪，其中激光干涉仪包括激光源、分光镜、微动角反射镜、测量角反射镜、光电探测器，还包括可移动微动平台，微动角反射镜与测量角反射镜包括一个向内凹陷的直角反射面，微动角反射镜连接在微动平台上；该微动平台优选为压电陶瓷。该一种改进型角反射镜激光干涉仪通过设置一个可移动微动平台，使微动角反射镜发生位移，配合测量角反射镜、激光源、分光镜、光电探测器，能够获得激光干涉过程中难以测量的干涉波的小数部分，可以进一步提高该激光干涉仪的测量精度。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 改进型 反射 激光 干涉仪 | ||
【主权项】：
一种改进型角反射镜激光干涉仪，包括激光源(1)、分光镜(2)、微动角反射镜(3)、测量角反射镜(4)、光电探测器(5)，其特征在于，还包括可移动的微动平台(6)，所述微动角反射镜(3)与测量角反射镜(4)均包括有一个向内凹陷的直角反射面，所述微动角反射镜(3)连接在所述微动平台(6)上。
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