[实用新型]一种用于真空镀膜设备的真空检测装置有效
| 申请号： | 201520170676.5 | 申请日： | 2015-03-25 |
| 公开（公告）号： | CN204625782U | 公开（公告）日： | 2015-09-09 |
| 发明（设计）人： | 杨征;李静益 | 申请（专利权）人： | 浙江长兴汉能光伏有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/35 | 分类号： | C23C14/35;C23C14/56 |
| 代理公司： | 湖州金卫知识产权代理事务所(普通合伙) 33232 | 代理人： | 赵卫康 |
| 地址： | 313100 浙江省湖州*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及太阳能生产设备领域，具体涉及一种用于真空镀膜设备的真空检测装置，包括真空计和粉尘过滤器，所述粉尘过滤器包括过滤器本体，所述过滤器本体上设有进气端和出气端，所述进气端和出气端连接有连接管，位于进气端的连接管与真空镀膜设备连接，位于出气端的连接管与所述真空计连接，所述进气端和出气端均设有连接端头，所述连接端头与连接管密封连接。本实用新型通过在真空计前端增设一个粉尘过滤器，能很好地过滤真空镀膜设备中的粉尘，防止粉尘流入到真空计内影响检测效果或对真空计造成损坏，同时在出气端和进气端设置连接端头，使连接管与粉尘过滤器密封连接，连接效果好，不会因空气泄漏而影响检测效果。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 用于 真空镀膜 设备 真空 检测 装置 | ||
【主权项】：
一种用于真空镀膜设备的真空检测装置，包括真空计（3）和粉尘过滤器（2），其特征在于：所述粉尘过滤器（2）包括过滤器本体（23），所述过滤器本体上设有进气端（21）和出气端（22），所述进气端（21）和出气端（22）连接有连接管（4），位于进气端（21）的连接管（4）与真空镀膜设备连接，位于出气端（22）的连接管（4）与所述真空计（3）连接，所述进气端（21）和出气端（22）均设有连接端头（5），所述连接端头（5）与连接管（4）密封连接。
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