[实用新型]一种测量红外焦平面模块低温形变的装置有效
| 申请号： | 201520167953.7 | 申请日： | 2015-03-24 |
| 公开（公告）号： | CN204514279U | 公开（公告）日： | 2015-07-29 |
| 发明（设计）人： | 张海燕;管建安;庄馥隆;汪洋;陈安森;龚海梅 | 申请（专利权）人： | 中国科学院上海技术物理研究所 |
| 主分类号： | G01B11/16 | 分类号： | G01B11/16 |
| 代理公司： | 上海新天专利代理有限公司 31213 | 代理人： | 郭英 |
| 地址： | 200083 *** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种测量红外焦平面模块低温形变的装置，该装置包括对窗口有特殊要求的测试杜瓦和激光干涉仪。其方法是把被测样品粘贴于真空杜瓦的冷头上，以激光干涉的方式非接触的获取样品表面形变信息，该实用新型的优点在于测试过程快速，样品温度可控，克服了传统测试方法的样品温度不稳定及表面结霜等固有困难。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 测量 红外 平面 模块 低温 形变 装置 | ||
【主权项】：
一种测量红外焦平面模块低温形变的装置，它包括对窗口有特殊要求的测试杜瓦和激光干涉仪，其特征在于：待测样品(6)粘贴于测试杜瓦的冷头(3)上，所述的测试杜瓦的窗口(4)的材料应对可见光透明，窗口两个面的平行度优于0.5um，激光干涉仪透过杜瓦窗口非接触地获取测样样品表面形变信息。
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