[实用新型]带有均流管的刻蚀槽有效

专利信息
申请号: 201520166486.6 申请日: 2015-03-23
公开(公告)号: CN204497259U 公开(公告)日: 2015-07-22
发明(设计)人: 曾石发 申请(专利权)人: 中建材浚鑫科技股份有限公司
主分类号: H01L31/18 分类号: H01L31/18
代理公司: 苏州中合知识产权代理事务所(普通合伙) 32266 代理人: 李中华
地址: 214400 江苏省*** 国省代码: 江苏;32
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摘要: 实用新型公开了一种带有均流管的刻蚀槽,包括槽体,所述槽体的上部并排均匀的设置有若干个管体,所述管体的下部沿着同一水平位置均匀的开设有若干个通风孔,所述管体的上部中心位置设置有一个与主排风管道相连接的连接孔。在刻蚀槽中增加若干根均流管,使刻蚀槽的排风,气流均匀排出,从而改善刻蚀工序中生产时出现中间两个轨道刻蚀不均,容易过刻的现象。改善电池片边缘漏电的问题,从而提高电池片的效率。减少因天气,排风不稳定时导致的刻边宽,导致返工,或者电池部分边缘漏电。提高电池片的开路电压和电流,最终提高效率,简单方便,降低生产成本。
搜索关键词: 带有 流管 刻蚀
【主权项】:
一种带有均流管的刻蚀槽,其特征在于:包括槽体(4),所述槽体(4)的上部并排均匀的设置有若干个管体(1),所述管体(1)的下部沿着同一水平位置均匀的开设有若干个通风孔(2),所述管体(1)的上部中心位置设置有一个与主排风管道相连接的连接孔(3)。
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