[实用新型]高清显示用旋转硅靶有效
| 申请号： | 201520152398.0 | 申请日： | 2015-03-17 |
| 公开（公告）号： | CN204589291U | 公开（公告）日： | 2015-08-26 |
| 发明（设计）人： | 秦国强;常金永 | 申请（专利权）人： | 江阴恩特莱特镀膜科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/35 | 分类号： | C23C14/35 |
| 代理公司： | 无锡市大为专利商标事务所(普通合伙) 32104 | 代理人： | 殷红梅;刘海 |
| 地址： | 214437 江苏省无锡市江*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及一种高清显示用旋转硅靶，特征是：包括304不锈钢背管，在304不锈钢背管表面喷涂有打底层，在打底层上喷涂有硅铌混合层。所述301不锈钢背管的两端分别设有密封面和接头。所述打底层为镍铝打底层，厚度为0.1～1毫米。所述硅铌混合层的厚度为2～13毫米。所述硅铌混合层中铌含量为0.01%～20%。本实用新型增加了不锈钢背管和硅铌混合层之间的结合强度，电阻率低、纯度高，可以提高镀膜生产效率和镀膜质量。 | ||
| 搜索关键词： | 显示 旋转 | ||
【主权项】：
一种高清显示用旋转硅靶，其特征是：包括304不锈钢背管（1），在304不锈钢背管（1）表面喷涂有打底层（2），在打底层（2）上喷涂有硅铌混合层（3）。
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