[实用新型]一种等离子射流装置和组件

摘要

本实用新型公开了一种等离子射流装置和组件，其包括接地的空心杆状金属外管体(2)，其特征在于，还包括：绝缘管(3)、金属阴极体(4)、金属阳极体(6)、进气通道(8)。本实用新型能够阻挡封装玻璃中的钠离子进入硅片表面，从而防止钠离子在晶硅表面的堆积造成了晶硅表面微米级的缺陷位造成电池组件中载流子的大量复合，导致电池组件的功率输出降低，同时，也为了消除电池片表面的指纹等污染物。

主权项

一种等离子射流装置，包括接地的空心杆状金属外管体(2)，其特征在于，还包括：‑绝缘管(3)，位于所述外管体(2)的内腔中，其轴线与所述外管体(2)的轴线平行；‑金属阴极体(4)，位于所述绝缘管(3)的内腔中且与射频输出装置的射频输出端相连，所述阴极体(4)为杆状结构且其轴线与所述绝缘管(3)的轴线平行；‑金属阳极体(6)，为空心杆状结构，所述阳极体(6)其内壁套设在所述绝缘管(3)的外壁上，其外壁夹紧于所述所述外管体(2)内壁中；‑进气通道(8)，其与所述绝缘管(3)的内腔连通，所述进气通道(8)的出气口设置在所述射流装置的外部。