[实用新型]太赫兹焦平面阵列及检测与成像装置有效
| 申请号： | 201520131059.4 | 申请日： | 2015-03-06 |
| 公开（公告）号： | CN204405189U | 公开（公告）日： | 2015-06-17 |
| 发明（设计）人： | 李志刚;欧毅;傅剑宇;尚海平;欧文;陈大鹏 | 申请（专利权）人： | 中国科学院微电子研究所 |
| 主分类号： | G01J5/00 | 分类号： | G01J5/00;G01N21/3581 |
| 代理公司： | 北京维澳专利代理有限公司 11252 | 代理人： | 党丽;韩晓莉 |
| 地址： | 100029 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种太赫兹焦平面阵列，包括框架、悬臂梁和吸收结构；其中，吸收结构，包括依次层叠的第一金属层、第一介质层和金属方块阵列；悬臂梁，两个悬臂梁分别位于金属方块阵列的相对侧，每个悬臂梁为由纵部和横部首尾依次连接形成的多材料形变梁，其一端与框架固定连接，另一端与吸收结构固定连接。该太赫兹焦平面阵列形成了超材料的谐振腔，对能量低的太赫兹辐射有较强的吸收能力。 | ||
| 搜索关键词： | 赫兹 平面 阵列 检测 成像 装置 | ||
【主权项】：
一种太赫兹焦平面阵列，其特征在于，包括框架、悬臂梁和吸收结构；其中，吸收结构，包括依次层叠的第一金属层、第一介质层和金属方块阵列；悬臂梁，两个悬臂梁分别位于金属方块阵列的相对侧，每个悬臂梁为由纵部和横部首尾依次连接形成的多材料形变梁，其一端与框架固定连接，另一端与吸收结构固定连接。
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