[实用新型]一种晶圆衬底有效
| 申请号： | 201520124010.6 | 申请日： | 2015-03-04 |
| 公开（公告）号： | CN204441320U | 公开（公告）日： | 2015-07-01 |
| 发明（设计）人： | 黄文宾;谢祥彬;林兓兓;张家宏 | 申请（专利权）人： | 安徽三安光电有限公司 |
| 主分类号： | H01L33/20 | 分类号： | H01L33/20 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 241000 安徽*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | 一种晶圆衬底，外延生长时放置于石墨承载盘的凹槽内，并随石墨承载盘的转动而转动，用于提高衬底边缘外延生长良率以及防止外延生长飞片现象，其特征在于：所述衬底的边缘设置有L型倒角，所述L型倒角包括相互连接成为一体的垂直部分和水平部分。本实用新型提供的具有L型倒角的衬底，经实验验证，可有效改善图形化衬底边缘处由于图形不均匀而产生的良率降低的问题，同时，还可有效改善外延生长时，翘曲衬底与石墨承载盘的凹槽不能贴合而产生的飞片现象。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 衬底 | ||
【主权项】：
一种晶圆衬底，其特征在于：所述衬底的边缘设置有L型倒角，所述L型倒角包括相互连接成为一体的垂直部分和水平部分，用于提高衬底边缘外延生长良率及避免外延生长飞片现象。
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