[实用新型]曝光系统及其微透镜组

摘要

本实用新型的曝光系统包括一光源装置、一第一透镜组、一第二透镜组、一微透镜组及一光学透镜。光源装置用以产生多个曝光光束。微透镜组具有一本体。本体有多个凹透镜。每一凹透镜具有一顶平面及朝顶平面方向内凹的一底弧面。该多个凹透镜的顶平面是面向第一透镜组，其底弧面是面向第二透镜组。该多个凹透镜的底弧面背对顶平面，且面向第二透镜组。该多个曝光光束在该多个凹透镜的底弧面的背后形成多个虚像光点。该多个虚像光点构成的平面定义为一聚焦平面，第二透镜组撷取聚焦平面上的该多个虚像光点，且朝第二透镜组的下方投影。

主权项

一种曝光系统，其特征在于，包括：一光源装置，用以产生多个曝光光束；一第一透镜组；一第二透镜组；及一微透镜组，有一本体，该本体有多个凹透镜，每一凹透镜具有一顶平面及朝该顶平面方向内凹的一底弧面，该多个凹透镜的顶平面面向该第一透镜组，该多个凹透镜的底弧面背对该顶平面，且面向该第二透镜组；其中，该多个曝光光束在该多个凹透镜的底弧面的背后形成多个虚像光点，该多个虚像光点构成的平面定义为一聚焦平面，该第二透镜组用以撷取该聚焦平面上的该多个虚像光点，且朝该第二透镜组的下方投影。