[实用新型]从六氟化钨混合气体中分离氮气或氧气的分离装置有效
| 申请号： | 201520051377.X | 申请日： | 2015-01-26 |
| 公开（公告）号： | CN204522363U | 公开（公告）日： | 2015-08-05 |
| 发明（设计）人： | 刘巍;韩莉果;周永胜;郭子学;周世文;田方圆 | 申请（专利权）人： | 核工业理化工程研究院 |
| 主分类号： | B01D5/00 | 分类号： | B01D5/00;C01G41/04 |
| 代理公司： | 天津市宗欣专利商标代理有限公司 12103 | 代理人： | 胡恩河 |
| 地址： | 300180 *** | 国省代码： | 天津;12 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种从六氟化钨混合气体中分离氮气或氧气的分离装置，包括容纳在真空罩内的第一级容器、第二级容器，分子泵机组与真空罩侧壁连通，第一级容器制冷机与第一级容器相连，第二级容器制冷机与第二级容器相连，第一级容器制冷机、第二级容器制冷机分别通过带阀门的连接管与冷水机组连通。本实用新型中的分离装置避免了WF6的腐蚀性对仪器以及操作人员造成伤害，使纯化WF6过程的成本更低、难度更小、精度更高。 | ||
| 搜索关键词： | 氟化 混合气体 分离 氮气 氧气 装置 | ||
【主权项】：
一种从六氟化钨混合气体中分离氮气或氧气的分离装置，包括真空罩（5），其特征在于：真空罩（5）内部容纳第一级容器（2）、第二级容器（3），外壁通过带Ⅳ号阀门（15）的连接管（1）与分子泵机组（6）连通，第一级容器（2）进气端连接管（1）中设置有Ⅰ号阀门（12），第一级容器（2）、第二级容器（3）间的连接管（1）中设置有Ⅱ号阀门（13），第二级容器（3）与真空泵机组（4）间的连接管（1）中设置有Ⅲ号阀门（14），设置有第一级制冷机控温仪（9）的第一级容器制冷机（7）与第一级容器（2）相连，设置有第二级制冷机控温仪（10）的第二级容器制冷机（8）与第二级容器（3）相连，第一级容器制冷机（7）分别通过带有Ⅴ号阀门（16）、Ⅵ号阀门（17）的连接管（1）与冷水机组（11）连通，第二级容器制冷机（8）分别通过带有Ⅶ号阀门（18）、Ⅷ号阀门（19）的连接管（1）与冷水机组（11）连通。
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