[实用新型]从六氟化钨混合气体中分离氮气或氧气的分离装置

说明书

技术领域

本实用新型属于一种气态物料分离设备，具体涉及一种从六氟化钨混合气体中分离氮气或氧气的分离装置。

背景技术

由于在对WF₆进行生产过程中，会有一定量的轻杂质（如N₂、O₂等）渗漏进入产品中，因此需要研制出一种能够去除物料中轻杂质的分离设备，使产品纯度达标。然而，现有技术水平并不能满足物料纯化过程中对N₂（或O₂）进行全收集即不出现二次扩散的技术要求，也不能达到物料收集后快速去除并得到纯净的WF₆ 的技术指标，同时也无法避免在纯化过程中WF₆对某些精密仪器与设备的损害。

发明内容

本实用新型为解决现有技术存在的问题而提出，其目的是提供一种从六氟化钨混合气体中分离氮气或氧气的分离装置。

本实用新型的技术方案是：一种从六氟化钨混合气体中分离氮气或氧气的分离装置，包括真空罩，所述真空罩内部容纳第一级容器、第二级容器，外壁通过带Ⅳ号阀门的连接管与分子泵机组连通，第一级容器进气端连接管中设置有Ⅰ号阀门，第一级容器、第二级容器间的连接管中设置有Ⅱ号阀门，第二级容器与真空泵机组间的连接管中设置有Ⅲ号阀门，设置有第一级制冷机控温仪的第一级容器制冷机与第一级容器相连，设置有第二级制冷机控温仪的第二级容器制冷机与第二级容器相连，第一级容器制冷机分别通过带有Ⅴ号阀门、Ⅵ号阀门的连接管与冷水机组连通，第二级容器制冷机分别通过带有Ⅶ号阀门、Ⅷ号阀门的连接管与冷水机组连通。

所述的真空罩空气渗透率低于10^-13Pa·m³·s^-1。

本实用新型中的分离装置避免了WF₆的腐蚀性对仪器以及操作人员造成伤害，使纯化WF₆过程的成本更低、难度更小、精度更高。

附图说明

图1 是本实用新型中分离装置的结构示意图。

     其中：

        1  连接管              2  第一级容器

        3  第二级容器          4  真空泵机组

        5  真空罩              6  分子泵机组

        7  第一级容器制冷机    8  第二级容器制冷机

        9  第一级制冷机控温仪  10  第二级制冷机控温仪

        11 冷水机组            12  Ⅰ号阀门

        13 Ⅱ号阀门            14  Ⅲ号阀门

        15 Ⅳ号阀门            16  Ⅴ号阀门

        17 Ⅵ号阀门            18  Ⅶ号阀门

        19 Ⅷ号阀门。

具体实施方式

以下，参照附图和实施例对本实用新型进行详细说明：

如图1所示，一种从六氟化钨混合气体中分离氮气或氧气的分离装置，包括真空罩5，真空罩5内部容纳第一级容器2、第二级容器3，外壁通过带Ⅳ号阀门15的连接管1与分子泵机组6连通，第一级容器2进气端连接管1中设置有Ⅰ号阀门12，第一级容器2、第二级容器3间的连接管1中设置有Ⅱ号阀门13，第二级容器3与真空泵机组4间的连接管1中设置有Ⅲ号阀门14，设置有第一级制冷机控温仪9的第一级容器制冷机7与第一级容器2相连，设置有第二级制冷机控温仪10的第二级容器制冷机8与第二级容器3相连，第一级容器制冷机7分别通过带有Ⅴ号阀门16、Ⅵ号阀门17的连接管1与冷水机组11连通，第二级容器制冷机8分别通过带有Ⅶ号阀门18、Ⅷ号阀门19的连接管1与冷水机组11连通。

所述的真空罩5空气渗透率低于10^-13Pa·m³·s^-1。

应用本实用新型的分离方法，包括以下步骤：

（ⅰ）对第一级容器2、第二级容器3抽真空

开启阀门Ⅱ号阀门13、Ⅲ号阀门14并通过真空泵机组4对第一级容器2、第二级容器3进行抽空，当第一级容器2、第二级容器3及连接管1内压力低于1Pa时，关闭Ⅱ号阀门13、Ⅲ号阀门14，停止抽空；

（ⅱ）对真空罩5抽真空