[发明专利]芯片腐蚀夹具有效

专利信息
申请号: 201511029052.2 申请日: 2015-12-31
公开(公告)号: CN106926161B 公开(公告)日: 2019-03-22
发明(设计)人: 孙国臻;汪文君;姚锡东 申请(专利权)人: 无锡华润华晶微电子有限公司
主分类号: B25B11/00 分类号: B25B11/00
代理公司: 北京品源专利代理有限公司 11332 代理人: 孟金喆;胡彬
地址: 214028 江苏省无锡市*** 国省代码: 江苏;32
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摘要: 发明实施例公开了一种芯片腐蚀夹具。该芯片腐蚀夹具包括:手柄和与所述手柄相连接的夹持部件;所述夹持部件包括弧形卡槽和位于所述弧形卡槽上的至少一个固定件,所述弧形卡槽和所述固定件配合将子母环固定。本发明实施例提供的芯片腐蚀夹具,能够帮助工作人员在对芯片进行腐蚀的过程中,牢固地夹持芯片,防止芯片掉落并且保护芯片不被划伤。
搜索关键词: 夹具 芯片腐蚀 弧形卡槽 手柄 夹持部件 芯片 固定件 保护芯片 子母环 掉落 地夹 划伤 腐蚀 配合 帮助
【主权项】:
1.一种芯片腐蚀夹具,其特征在于,包括:手柄和与所述手柄相连接的夹持部件;所述夹持部件包括弧形卡槽和位于所述弧形卡槽上的至少一个固定件,所述弧形卡槽和所述固定件配合将子母环固定;所述固定件包括第一阻挡片和第二阻挡片,所述第一阻挡片和第二阻挡片呈预设夹角固定连接;所述第一阻挡片与所述弧形卡槽侧面贴合,所述第二阻挡片抵持所述子母环。
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