[发明专利]芯片腐蚀夹具有效
| 申请号： | 201511029052.2 | 申请日： | 2015-12-31 |
| 公开（公告）号： | CN106926161B | 公开（公告）日： | 2019-03-22 |
| 发明（设计）人： | 孙国臻;汪文君;姚锡东 | 申请（专利权）人： | 无锡华润华晶微电子有限公司 |
| 主分类号： | B25B11/00 | 分类号： | B25B11/00 |
| 代理公司： | 北京品源专利代理有限公司 11332 | 代理人： | 孟金喆;胡彬 |
| 地址： | 214028 江苏省无锡市*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 夹具 芯片腐蚀 弧形卡槽 手柄 夹持部件 芯片 固定件 保护芯片 子母环 掉落 地夹 划伤 腐蚀 配合 帮助 | ||
1.一种芯片腐蚀夹具，其特征在于，包括：
手柄和与所述手柄相连接的夹持部件；
所述夹持部件包括弧形卡槽和位于所述弧形卡槽上的至少一个固定件，所述弧形卡槽和所述固定件配合将子母环固定；
所述固定件包括第一阻挡片和第二阻挡片，所述第一阻挡片和第二阻挡片呈预设夹角固定连接；
所述第一阻挡片与所述弧形卡槽侧面贴合，所述第二阻挡片抵持所述子母环。
2.根据权利要求1所述的芯片腐蚀夹具，其特征在于，
所述预设夹角范围为45°至135°。
3.根据权利要求1所述的芯片腐蚀夹具，其特征在于，
所述弧形卡槽包括：弧形底面和位于所述弧形底面两侧的第一侧壁和第二侧壁；
在所述第一侧壁和/或所述第二侧壁上设置有至少两个所述固定件。
4.根据权利要求3所述的芯片腐蚀夹具，其特征在于，所述固定件的数量为偶数，且沿所述手柄轴向对称分布。
5.根据权利要求3所述的芯片腐蚀夹具，其特征在于，
所述夹持部件还包括弹性元件和连接杆；
所述弹性元件与所述弧形卡槽连接；
所述连接杆一端与所述弹性元件连接，所述连接杆另一端与所述固定件连接。
6.根据权利要求5所述的芯片腐蚀夹具，其特征在于，所述夹持部件还包括固定于所述连接杆上的拨片，用于控制与所述连接杆连接的固定件固定或释放所述子母环。
7.根据权利要求5所述的芯片腐蚀夹具，其特征在于，
所述连接杆通过所述弹性元件与所述弧形卡槽的外表面连接。
8.根据权利要求1所述的芯片腐蚀夹具，其特征在于，
所述芯片腐蚀夹具的材料为不锈钢。
9.根据权利要求1所述的芯片腐蚀夹具，其特征在于，
所述手柄和/或所述夹持部件上设置有至少一个孔洞。
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