[发明专利]用于加热坩埚的加热器设备和用于蒸发或升华材料的系统有效
| 申请号： | 201511026879.8 | 申请日： | 2015-12-31 |
| 公开（公告）号： | CN106929802B | 公开（公告）日： | 2021-06-04 |
| 发明（设计）人： | 傅干华;巴斯蒂安·希普欣;扬·彼得·海姆法尔特;秦关根;艾伦·E·德拉霍伊;夏申江;斯特凡·拉乌;彭寿 | 申请（专利权）人： | 中国建材国际工程集团有限公司;CTF太阳能有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/24 | 分类号： | C23C14/24 |
| 代理公司： | 上海光华专利事务所(普通合伙) 31219 | 代理人： | 余明伟 |
| 地址： | 200063 上海市普*** | 国省代码： | 上海;31 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明涉及用于加热坩埚的加热器设备、其操作方法和用于容纳且加热待蒸发或升华的材料的坩埚。该坩埚具有底表面和至少一个侧表面。加热器设备包括至少一个电阻底部加热器用于坩埚的底表面，和至少一个电阻侧部加热器用于坩埚的每个侧表面。加热器中的至少一个加热器包含适合于将不同量的热能引入到坩埚的各个表面的不同部分的不同的加热段。此外，所述坩埚包括：至少一个槽凹陷，该至少一个槽凹陷适合于接收待蒸发或待升华的材料；至少一个坩埚壁，该至少一个坩埚壁从坩埚的第二表面延伸到槽凹陷内；以及至少一个底部凹陷，该至少一个底部凹陷形成在坩埚壁内。底部凹陷适合于接收壁加热器。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 加热 坩埚 加热器 设备 蒸发 升华 材料 系统 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于中国建材国际工程集团有限公司;CTF太阳能有限公司，未经中国建材国际工程集团有限公司;CTF太阳能有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201511026879.8/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：用于在外部拾取的麦克风信号上叠加空间听觉提示的方法
- 下一篇：热封装置
- 同类专利
- 专利分类
