[发明专利]基于光热检测和光学显微的光学材料缺陷实时成像装置

摘要

本发明提供一种基于光热检测和光学显微的光学材料缺陷实时成像装置，包括用于放置样品的样品台，还包括光热检测系统和光学显微系统，所述光热检测系统包括泵浦光源、泵浦光聚焦装置、探测光源、探测光第一聚焦装置和探测装置，所述光学显微系统包括光学照明光源、光学照明光分束装置、光学照明光反射装置、泵浦光聚焦装置、成像透镜和成像装置。本发明将光热检测技术和光学显微技术结合在一起，有效地弥补了单一模式检测的不足，实现了双模态、多参数、易定位的检测，有利于拓宽光热检测技术和光学显微技术的应用；同时，本发明中光热检测系统和光学显微系统利用同一聚焦装置，减少了器件数量，缩小了装置的体积，降低了成本。

主权项

一种基于光热检测和光学显微的光学材料缺陷实时成像装置，其特征在于：包括用于放置样品的样品台以及分别与样品光路连接的泵浦光源、探测光源、光学照明光源和探测装置；所述泵浦光源与样品之间设有泵浦光聚焦装置，所述探测光源与样品之间设有探测光第一聚焦装置，所述样品位于泵浦光聚焦装置和探测光第一聚焦装置的焦平面处；所述光学照明光源与样品之间依次设有光学照明光分束装置和光学照明光反射装置，所述光学照明光反射装置设置在泵浦光源与泵浦光聚焦装置之间；所述泵浦光源，用于输出泵浦光束，所述泵浦光束经过光学照明光反射装置透射后，再经过泵浦光聚焦装置聚焦在样品上；所述探测光源，用于输出探测光束，所述探测光束经过探测光第一聚焦装置聚焦在样品上，且所述探测光束的聚焦光斑与泵浦光束的聚焦光斑重合；所述光学照明光源，用于输出光学照明光束，所述光学照明光束依次经过光学照明光分束装置反射、光学照明光反射装置反射后，再经过泵浦光聚焦装置聚焦在样品上，且所述光学照明光束的聚焦光斑与泵浦光束和探测光束的聚焦光斑重合；从样品反射的光学照明光束依次经过泵浦光聚焦装置收集、光学照明光反射装置反射、光学照明光分束装置透射后，再经过成像透镜聚焦在成像装置上；所述探测装置，用于接收从样品出射的探测光束，并对接收的探测光束传播特性的变化进行检测。