[发明专利]一种双阳极检测镀液均镀性的方法在审
| 申请号： | 201511010580.3 | 申请日： | 2015-12-30 |
| 公开（公告）号： | CN105628755A | 公开（公告）日： | 2016-06-01 |
| 发明（设计）人： | 王溯;季峥 | 申请（专利权）人： | 上海新阳半导体材料股份有限公司 |
| 主分类号： | G01N27/26 | 分类号： | G01N27/26 |
| 代理公司： | 上海信好专利代理事务所(普通合伙) 31249 | 代理人： | 贾慧琴 |
| 地址： | 201616 *** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种双阳极检测镀液均镀性的方法，该方法采用两个不同面积的阳极电极和一个阴极电极对镀液进行检测；在同一个阴极电极下分别检测其与不同面积阳极电极产生的不同电流，电流差距越小，镀液的均镀性越好。该方法也可以用于镀液的添加剂定性分析等方面。小阳极和大阳极的表面积比为1：5~1:200。小阳极表面积为阴极表面积的1/10~1。大阳极表面积为阴极表面积的5~20倍。阴极电极与两个阳极电极的位置相对，两个阳极电极同向。本发明提供的双阳极检测镀液均镀性的方法，利用两个面积不同的阳极，通过在同样的阴极下的不同电流获得镀液均镀性的信息，快速有效，简便易行，并能够降低成本。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 阳极 检测 镀液均镀性 方法 | ||
【主权项】：
1.一种双阳极检测镀液均镀性的方法，其特征在于，该方法采用两个不同面积的阳极电极和一个阴极电极对镀液进行检测；在同一个阴极电极下分别检测其与不同面积阳极电极产生的不同电流，电流差距越小，镀液的均镀性越好。
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