[发明专利]一种用于等离子反应装置的喷淋头加热冷却装置及方法

摘要

本发明的公开了一种用于等离子反应装置的喷淋头加热冷却装置及方法，采用喷淋头结构、加热结构及冷却结构建立形成喷淋头加热冷却装置；上述部件的组合能够实现反应气体在进入等离子反应腔之前，反应气体在喷淋头结构、加热结构及冷却结构中进行充分混合、预热；并且能够在等离子反应腔内进行晶片刻蚀的过程中，根据实时探测加热结构的温度以及冷却结构不断地对该加热结构进行降温，从而保证反应气体温度保持不变，提高刻蚀效率、产品质量。

主权项

1.一种用于等离子反应装置的喷淋头加热冷却装置，该喷淋头加热冷却装置设置于等离子反应装置的反应腔顶部，使得该反应腔内部密封，其特征在于，该喷淋头加热冷却装置包含：喷淋头结构，所述喷淋头结构设置在所述反应腔上方，该喷淋头结构内设置有多个喷淋气道；加热结构，设置在所述喷淋头结构上方，并且加热结构的下表面与喷淋头结构的上表面接触，所述加热结构内设置第一冷却液管道；冷却结构，设置在所述加热结构上方，所述冷却结构设有第二冷却液管道；所述第一冷却液管道与所述第二冷却液管道独立控制；所述冷却结构的下表面与该加热结构的上表面在贴合区域内互相贴合，所述贴合区域包括中心区域和外围区域，冷却结构下表面和加热结构之间还包括隔离区域，所述隔离区域位于所述中心区域和外围区域之间，隔离区域内设有至少一个环形气体槽将冷却结构的下表面和加热结构的上表面互相隔离，所述环形气体槽与所述喷淋头结构内的多个喷淋气道互相联通；所述加热结构包含多个加热器：所述加热结构的中心区域内包括第一加热器，外围区域内包括第二加热器，所述第一加热器和第二加热器独立控制；多个所述环形气体槽能够将所述多个加热器产生的热量在对应的所述环形气体槽内进行传导。