[发明专利]一种防水有机/无机杂化钙钛矿太阳能电池的制备方法

摘要

本发明涉及一种防水有机/无机杂化钙钛矿太阳能电池，其特征在于：包括玻璃衬底和依次层叠于该衬底上的致密层、钙钛矿层、致密氧化铝层、空穴传输层和金属电极层。将隔水的致密氧化铝层添加进传统的FTO/TiO2/CH3NH3PbI3/spiro‑OMeTAD/Au的结构中，大幅度的提高了钙钛矿电池在不封装的情况下在空气中的稳定性。同时本发明通过先进的原子层沉积技术，准确的将氧化铝致密的厚度控制在亚纳米级别，可以有效的保证钙钛矿电池的性能不受影响。

主权项

1.一种防水有机/无机杂化钙钛矿太阳能电池的制备方法，其特征在于：所述方法具体步骤如下：(1)制备致密层:在沉积了掺氟氧化锡的玻璃衬底上，用匀胶机旋涂摩尔浓度为0.15mol/L的钛酸异丙酯的乙醇溶液，通过控制匀胶机转速沉积厚度为30nm的TiO2致密层，然后在450℃的条件下退火30min；(2)制备钙钛矿层：在充满氩气的手套箱中，将摩尔质量比为3:1的CH3NH3I和PbCI2及含量为40wt％的丁内酯和二甲基亚砜的混合溶液通过两个连续不断的旋涂过程旋涂到TiO2致密层上；在第二阶段过程中，将1ml的甲苯逐滴滴到基底上，随后放置加热板上100℃加热10min；(3)制备氧化铝致密层：器件冷却后，取出放到原子层沉积设备中，沉积5循环的Al2O3致密层；ALD沉积过程中，分别以二三甲基铝和臭氧作为铝和氧的前驱体，纯度为99.999％的氮气作为载气和清洗气体，每一个沉积循环包括四个步骤：通入TMA反应物90ms，N2吹扫1.5s，通入O3 150ms，N2吹扫2s；(4)制备空穴传输层：将事先配好的Spiro‑OMeTAD HTM溶液旋涂到钙钛矿层，通过控制匀胶机的旋速与HTM的滴加量，将HTM层控制在100nm左右；然后70℃的环境中烘30min后，放在无水有氧的环境中过夜氧化；(5)制备金属电极层：将器件放到高电阻真空镀膜仪中，腔室真空度达到10‑4pa后，将电极加热电流调为52A，在所述器件上热蒸发沉积100nm厚的Au层度；所述步骤(1)中掺氟氧化锡玻璃衬底采用的是方块电阻为10‑15欧姆，透过率在80‑85％的掺氟氧化锡玻璃；匀胶机旋涂时间为30s，转速为1800转/分。