[发明专利]一种栅氧击穿电压的测试方法在审
| 申请号： | 201510975479.5 | 申请日： | 2015-12-23 |
| 公开（公告）号： | CN106908707A | 公开（公告）日： | 2017-06-30 |
| 发明（设计）人： | 牛刚 | 申请（专利权）人： | 中芯国际集成电路制造（上海）有限公司;中芯国际集成电路制造（北京）有限公司 |
| 主分类号： | G01R31/26 | 分类号： | G01R31/26 |
| 代理公司： | 北京市磐华律师事务所11336 | 代理人： | 董巍,高伟 |
| 地址： | 201203 *** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明提供一种栅氧击穿电压的测试方法，涉及半导体技术领域。包括在待测器件的栅极施加工作电压，并通过测试初始工作电流来判断栅氧的状态，如果栅氧被击穿则停止测试，如果栅氧未被击穿，则进行步骤在待测器件的栅极施加若干步逐渐递增的第一测试电压的同时并量测第一漏电电流；在待测器件的栅极施加每一步第一测试电压后再在待测器件的栅极施加第二测试电压并量测第二漏电电流，如果相邻两步的第一漏电电流之间相差十倍以上时或相邻两步的第二漏电电流之间相差十倍以上时，则将其相对应的第一测试电压记录为击穿电压。根据本发明的测试方法，可以准确检测到栅氧化层击穿电压。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 击穿 电压 测试 方法 | ||
【主权项】：
一种栅氧击穿电压的测试方法，其特征在于，所述方法包括：步骤S1：在待测器件的栅极施加所述待测器件的工作电压，并通过测试初始工作电流来判断栅氧的状态，如果栅氧被击穿则停止对所述待测器件的测试，如果栅氧未被击穿，则进行之后步骤S2至S3的测试；步骤S2：在所述待测器件的栅极以预定的步进施加若干步逐渐递增的第一测试电压的同时并量测所述待测器件的第一漏电电流；步骤S3：在每一步所述第一测试电压后，再在所述待测器件的栅极上施加第二测试并同时量测所述待测器件的第二漏电电流，其中，如果相邻两步的所述第一漏电电流之间相差十倍以上时，则将较大的所述第一漏电电流所对应的所述第一测试电压记录为击穿电压，如果相邻两步的所述第二漏电电流之间相差十倍以上时，则将较大的所述第二漏电电流对应步的所述第一测试电压记录为击穿电压。
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