[发明专利]一种基于石墨烯的微测辐射热计

摘要

本发明涉及一种基于石墨烯微测辐射热计，所述石墨烯微测辐射热计包括硅基底(101)、悬空孔(102)、悬空支撑层(103)、金属电极引线(104)、石墨烯红外敏感层(105)、石墨烯保护层(106)、悬空支撑层微孔(107)。该微测辐射热计采用石墨烯作为宽波段红外吸收敏感层，采用悬空支撑层微孔结构提高了红外探测灵敏度，结构简单，成本低，且具有优异的非制冷宽波段红外探测性能。

主权项

一种石墨烯微测辐射热计，包括硅基底、悬空孔、悬空支撑层、金属电极引线、红外敏感层、石墨烯保护层、悬空支撑层微孔，其特征在于：所述的硅基底为常规半导体硅片，硅基底上面分布有悬空孔；所述的悬空支撑层，置于悬空孔上方，其材料包括氮化硅、二氧化硅、聚合物弹性体或者其中二者的组合，厚度为20nm～5um；其中所述的聚合物弹性体为聚二甲基硅氧烷、聚氨酯弹性体、硅橡胶、聚氨酯橡胶中的一种；所述的红外敏感层是采用石墨烯作为宽波段红外吸收敏感层，红外敏感层置于悬空支撑层上方，石墨烯的厚度为5nm～1000nm，石墨烯的形态包括石墨烯薄膜、石墨烯纳米墙以及石墨烯微片等；所述的石墨烯保护层，用以在制备工艺和使用过程中保护石墨烯免被破坏，具体材料包括氮化硅、二氧化硅、碳化硅等，其厚度为10nm～500nm；所述的悬空支撑层微孔为矩形盲孔，深度为1～100um，通过常规的微纳加工手段实现，包括光刻、刻蚀等。