[发明专利]一种薄膜晶体管、阵列基板及液晶面板在审
| 申请号： | 201510971334.8 | 申请日： | 2015-12-21 |
| 公开（公告）号： | CN105576035A | 公开（公告）日： | 2016-05-11 |
| 发明（设计）人： | 蒙艳红;吕晓文;李文辉;张合静;石龙强;李珊 | 申请（专利权）人： | 深圳市华星光电技术有限公司 |
| 主分类号： | H01L29/786 | 分类号： | H01L29/786;H01L27/12 |
| 代理公司： | 深圳市威世博知识产权代理事务所(普通合伙) 44280 | 代理人： | 许丹 |
| 地址： | 518006 广东*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种薄膜晶体管、阵列基板及液晶面板。该薄膜晶体管包括：栅极；依次覆盖栅极的栅极绝缘层、半导体层和欧姆接触层；形成于欧姆接触层上且间隔设置的源极和漏极；其中，欧姆接触层为纳米晶相欧姆接触层。通过上述方式，本发明能够在有效降低薄膜晶体管的暗态漏电流的同时，降低薄膜晶体管的光漏电流，从而提高显示面板的显示质量。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 薄膜晶体管 阵列 液晶面板 | ||
【主权项】：
一种薄膜晶体管，其特征在于，所述薄膜晶体管包括：栅极；依次覆盖所述栅极的栅极绝缘层、半导体层和欧姆接触层；形成于所述欧姆接触层上且间隔设置的源极和漏极；其中，所述欧姆接触层为纳米晶相欧姆接触层。
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