[发明专利]酸性蚀刻液循环再生的电解槽装置、系统及应用

摘要

本发明属于蚀刻液处理技术领域，具体公开了一种酸性蚀刻液循环再生的电解槽装置、系统及应用。该装置包括电解槽，还包括主阳极、阴极、隔膜及至少一片偏阳极；隔膜将电解槽形成的腔体分隔成阳极室和阴极室；主阳极设置于阳极室内；阴极设置于阴极室内；偏阳极设置于阳极室内；主阳极、阴极、偏阳极及隔膜两两相互平行且间隔。该装置利用主阳极和偏阳极三维组合的结构，当电解槽接通直流电源时，能有效抑制氯气析出的作用。由该装置形成的系统既有利于环保，又能够很好的回收电解铜及循环再生蚀刻液，实现回收过程无污染排放，同时兼具经济效益和资源重复利用的多重效益。

主权项

1.一种酸性蚀刻液循环再生的电解槽装置，包括电解槽，其特征在于：还包括主阳极、至少一片阴极、至少一片隔膜及至少一片偏阳极；所述隔膜将所述电解槽形成的腔体分隔成阳极室和阴极室；所述主阳极设置于所述阳极室内；所述阴极设置于所述阴极室内；所述偏阳极设置于所述阳极室内，设置在所述主阳极和所述阴极两者所夹的区间内；所述主阳极、阴极、偏阳极及隔膜两两相互平行，且所述主阳极、偏阳极及隔膜两两之间有间隔，所述阴极和隔膜之间有间隔；所述主阳极包括主阳极基体和附着于所述主阳极基体表面的金属化合物导电层；所述主阳极基体为钛、铌、锆、钽中任何一种基体；所述金属化合物导电层为Ru、Ir、Pt、Pd、Ta中的至少一种金属化合物形成的导电层；所述金属化合物导电层还掺杂有Mo、Mn、Sn中的至少一种；所述偏阳极包括偏阳极基体和附着于所述偏阳极基体表面的导电层，所述导电层为Mo、Mn、Sn中的至少一种金属氧化物导电层；或所述导电层为包含硼、四硼酸钠及金刚石粉末掺杂的混合物导电层。