[发明专利]酸性蚀刻液循环再生的电解槽装置、系统及应用

权利要求书

1.一种酸性蚀刻液循环再生的电解槽装置，包括电解槽，其特征在于：还包括主阳极、至少一片阴极、至少一片隔膜及至少一片偏阳极；

所述隔膜将所述电解槽形成的腔体分隔成阳极室和阴极室；所述主阳极设置于所述阳极室内；所述阴极设置于所述阴极室内；所述偏阳极设置于所述阳极室内，设置在所述主阳极和所述阴极两者所夹的区间内；所述主阳极、阴极、偏阳极及隔膜两两相互平行，且所述主阳极、偏阳极及隔膜两两之间有间隔，所述阴极和隔膜之间有间隔；

所述主阳极包括主阳极基体和附着于所述主阳极基体表面的金属化合物导电层；所述主阳极基体为钛、铌、锆、钽中任何一种基体；所述金属化合物导电层为Ru、Ir、Pt、Pd、Ta中的至少一种金属化合物形成的导电层；所述金属化合物导电层还掺杂有Mo、Mn、Sn中的至少一种；

所述偏阳极包括偏阳极基体和附着于所述偏阳极基体表面的导电层，所述导电层为Mo、Mn、Sn中的至少一种金属氧化物导电层；或所述导电层为包含硼、四硼酸钠及金刚石粉末掺杂的混合物导电层。

2.如权利要求1所述的装置，其特征在于：所述主阳极为板状、或网状、或粉末压铸状、或泡沫状；和/或所述偏阳极为板状、或网状、或粉末压铸状、或泡沫状；和/或所述隔膜为石棉隔膜、复合隔膜、阴离子膜中的任一种。

3.如权利要求1-2任一所述的装置，其特征在于：所述主阳极表面积为所述阴极表面积的1.0倍及以上；和/或所述偏阳极表面积为所述主阳极表面积的50％-150％。

4.如权利要求1-2任一所述的装置，其特征在于：所述装置的阳极室侧壁上开设有蚀刻废液入口、再生液出口及抽风排气口。

5.一种酸性蚀刻液循环再生的系统，包括电解槽装置，其特征在于：所述电解槽装置由权利要求1～4任一所述的装置提供。

6.如权利要求1-4任一所述的电解槽装置或如权利要求5所述的系统在印刷电路板酸性蚀刻废液在回收铜和循环再生蚀刻液工业中的应用。