[发明专利]一种大功率激光器条形芯片烧结夹具有效
申请号: | 201510961798.0 | 申请日: | 2015-12-21 |
公开(公告)号: | CN105428994B | 公开(公告)日: | 2018-05-25 |
发明(设计)人: | 房玉锁;徐会武;沈牧;任永学;王伟 | 申请(专利权)人: | 中国电子科技集团公司第十三研究所 |
主分类号: | H01S5/022 | 分类号: | H01S5/022;H01S5/024 |
代理公司: | 石家庄国为知识产权事务所 13120 | 代理人: | 米文智 |
地址: | 050051 *** | 国省代码: | 河北;13 |
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摘要: | 本发明公开了一种大功率激光器条形芯片烧结夹具,涉及半导体光电技术领域。包括夹具底座、定位板、探针定位装置和弹簧探针,所述夹具底座一端设有限位热沉的挡块,另一端设有定位热沉的定位机构,所述定位板通过紧固件垂直安装在固定有热沉挡块的夹具底座端,所述探针定位装置设有一排若干个均布的与弹簧探针相适配的定位通孔,所述弹簧探针分别穿插在定位通孔内,且弹簧探针的底端在热沉上方用于压紧待烧结的芯片,所述定位通孔的顶部还设有螺纹,与可调螺栓配合,用于调节弹簧探针扭力大小。该夹具通过定位板上的弹簧探针对大功率激光器芯片的不同部分施加不同压力来平衡芯片所受应力,矫正smile弯曲度;提高芯片的光束质量。 | ||
搜索关键词: | 弹簧探针 热沉 大功率激光器 定位通孔 夹具底座 定位板 探针定位装置 烧结夹具 条形芯片 芯片 挡块 夹具 光电技术领域 垂直安装 定位机构 可调螺栓 平衡芯片 烧结 紧固件 弯曲度 螺纹 弹簧 底端 均布 扭力 适配 压紧 矫正 半导体 穿插 施加 配合 | ||
【主权项】:
1.一种大功率激光器条形芯片烧结夹具,其特征在于:包括夹具底座(1)、定位板(2)、探针定位装置(4)和弹簧探针(8),所述夹具底座(1)一端设有限位热沉(11)的挡块(15),另一端设有定位热沉(11)的定位机构,所述定位板(2)通过紧固件垂直安装在固定有热沉(11)挡块的夹具底座(1)端,所述探针定位装置(4)分别设有安装孔(5),螺钉(6)可穿过安装孔(5)与定位板(2)上的定位螺纹孔(3)螺纹连接,并将探针定位装置(4)固定在定位板(2)上,所述探针定位装置(4)设有一排若干个均布的与弹簧探针(8)相适配的定位通孔,所述弹簧探针(8)分别穿插在定位通孔内,且弹簧探针(8)的底端在热沉(11)上方用于压紧待烧结的芯片,所述定位通孔的顶部还设有螺纹,与可调螺栓(7)配合,用于调节弹簧探针(8)扭力大小;所述夹具底座(1)与定位板(2)通过螺栓(13)可拆卸连接。
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