[发明专利]一种用氯化铋制备硒化铋热电薄膜的方法

摘要

一种用氯化铋制备硒化铋热电薄膜的方法，属于热电薄膜材料制备技术领域，本发明通过如下步骤得到，首先清洗二氧化锡导电玻璃基片，然后将BiCl3、SeO2放入稀硝酸中，用电沉积法在导电玻璃片上得到前驱体薄膜，自然干燥，放入加有水合联氨的管式炉中，使前驱体薄膜样品不与水合联氨接触，在密闭管式炉内加热，最后取出样品进行干燥，得到硒化铋热电薄膜。本发明不需要高真空条件，对仪器设备要求低，生产成本低，生产效率高，易于操作。所得硒化铋热电薄膜有较好的连续性和均匀性，主相为Bi2Se3相，可以实现低成本大规模的工业化生产。

主权项

1.一种用氯化铋制备硒化铋热电薄膜的方法，采用如下顺序的步骤：a. 二氧化锡导电玻璃基片的清洗：步骤a所述清洗，是将导电玻璃基片大小为20mm×20mm，放入体积比丙酮：蒸馏水=5：1的溶液中，超声波清洗30min；再将基片放入乙醇中，超声波清洗30min；再在蒸馏水中将玻璃基片用超声振荡30min；将上述得到的玻璃基片排放在玻璃皿中送入烘箱中，在100℃下烘干供制膜用；b. 将4.5份BiCl3、1.0份SeO2放入1800.0份稀硝酸中，使上述物质溶解得到电沉积溶液；c. 将上述电沉积溶液倒入三电极装置中，以饱和甘汞电极为参比电极，铂电极为辅助电极，二氧化锡导电玻璃为研究电极，采用晶体管恒电位仪在沉积电位为-0.4V下常温沉积薄膜，沉积时间为20min，自然干燥得到前驱体薄膜样品；d. 将步骤c所得前驱体薄膜样品置于支架上，将前驱体薄膜和水合联氨放入管式炉中，前驱体薄膜样品不与水合联氨接触，水合联氨放入为40.0份；将管式炉加热至350℃，保温时间2h，然后冷却到室温取出； e.将步骤d所得物，进行常温自然干燥，得到硒化铋热电薄膜。