[发明专利]一种高温用石英管的清洗方法有效
| 申请号： | 201510922980.5 | 申请日： | 2015-12-11 |
| 公开（公告）号： | CN105537207B | 公开（公告）日： | 2018-09-25 |
| 发明（设计）人： | 郑延;张澜庭;温宏远;陈夫刚;张铁桥;董显平 | 申请（专利权）人： | 上海交通大学 |
| 主分类号： | B08B9/027 | 分类号： | B08B9/027 |
| 代理公司： | 上海光华专利事务所(普通合伙) 31219 | 代理人： | 高燕;许亦琳 |
| 地址： | 200240 *** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明提供一种高温用石英管的清洗方法，所述方法为使用金属氟化物粉末高温分解产生的氟气清洁石英管管壁。金属氟化物高温分解出氟气，利用氟气的活泼性使之带走石英管内壁上的残留物，与石英管长期使用后挥发在内壁的残留物结合成气体被真空系统抽走，同时，又能在干燥、真空条件下防止其腐蚀石英管。清洗完毕的石英管内壁恢复清透，并且表面没有任何磨损。 | ||
| 搜索关键词： | 石英管 氟气 清洗 石英管内壁 高温分解 金属氟化物粉末 金属氟化物 清洁石英 真空条件 真空系统 活泼性 挥发 磨损 腐蚀 恢复 | ||
【主权项】：
1.一种高温用石英管的清洗方法，所述方法为使用金属氟化物粉末高温分解产生的氟气清洁石英管管壁；所述金属氟化物为稀土金属氟化物中的一种或多种；将金属氟化物放入所述石英管中，并一起放入真空石英管式炉中，对真空石英管式炉抽真空后加热进行反应；所述加热至温度达到880～900℃。
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