[发明专利]一种高温用石英管的清洗方法有效
| 申请号： | 201510922980.5 | 申请日： | 2015-12-11 |
| 公开（公告）号： | CN105537207B | 公开（公告）日： | 2018-09-25 |
| 发明（设计）人： | 郑延;张澜庭;温宏远;陈夫刚;张铁桥;董显平 | 申请（专利权）人： | 上海交通大学 |
| 主分类号： | B08B9/027 | 分类号： | B08B9/027 |
| 代理公司： | 上海光华专利事务所(普通合伙) 31219 | 代理人： | 高燕;许亦琳 |
| 地址： | 200240 *** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 石英管 氟气 清洗 石英管内壁 高温分解 金属氟化物粉末 金属氟化物 清洁石英 真空条件 真空系统 活泼性 挥发 磨损 腐蚀 恢复 | ||
【权利要求书】：
1.一种高温用石英管的清洗方法，所述方法为使用金属氟化物粉末高温分解产生的氟气清洁石英管管壁；
所述金属氟化物为稀土金属氟化物中的一种或多种；
将金属氟化物放入所述石英管中，并一起放入真空石英管式炉中，对真空石英管式炉抽真空后加热进行反应；
所述加热至温度达到880～900℃。
2.如权利要求1所述方法，其特征在于：所述真空石英管式炉的加热的升温速度为5～15℃/min。
3.如权利要求1所述方法，其特征在于：抽真空后，所述真空石英管式炉内的真空度要保持小于10-2Pa。
4.如权利要求1所述方法，其特征在于：反应时间为3～7小时。
5.如权利要求1所述方法，其特征在于：每个石英管金属氟化物的使用量为2～10g。
6.如权利要求1所述方法，其特征在于：反应结束后停止加热至石英管自然冷却后倒掉残渣，用酒精棉擦拭内壁。
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