[发明专利]驻极体电容式超声传感器及其制备方法在审
| 申请号： | 201510922222.3 | 申请日： | 2015-12-14 |
| 公开（公告）号： | CN105578368A | 公开（公告）日： | 2016-05-11 |
| 发明（设计）人： | 王小青;宁瑾;俞育德;魏清泉;刘文文;刘元杰;蒋莉娟 | 申请（专利权）人： | 中国科学院半导体研究所 |
| 主分类号： | H04R19/01 | 分类号： | H04R19/01;H04R31/00 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人： | 任岩 |
| 地址： | 100083 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 一种驻极体电容式超声传感器及其制备方法，该驻极体电容式超声传感器，包括：一玻璃衬底，该玻璃衬底的中间为下凹的空腔；一金属下电极，其制作在玻璃衬底下凹的空腔的底部；一二氧化硅层，其制作在玻璃衬底上，且覆盖在空腔上，该二氧化硅层为驻极体振动膜；一金属上电极，其制作在二氧化硅层的下表面，且位于空腔的上方，与金属下电极对应；一硅片，其分为两块，分别制作在二氧化硅层上的两侧。本发明简化了外围配制电路，实现器件的超低功耗工作，保证了超声传感器应用的安全性。 | ||
| 搜索关键词： | 驻极体 电容 超声 传感器 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
一种驻极体电容式超声传感器，包括：一玻璃衬底，该玻璃衬底的中间为下凹的空腔；一金属下电极，其制作在玻璃衬底下凹的空腔的底部；一二氧化硅层，其制作在玻璃衬底上，且覆盖在空腔上，该二氧化硅层为驻极体振动膜；一金属上电极，其制作在二氧化硅层的下表面，且位于空腔的上方，与金属下电极对应；一硅片，其分为两块，分别制作在二氧化硅层上的两侧。
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