[发明专利]一种具有复合靶材的卷对卷溅镀制程与其制成品有效
| 申请号： | 201510917113.2 | 申请日： | 2015-12-10 |
| 公开（公告）号： | CN105755445B | 公开（公告）日： | 2019-07-05 |
| 发明（设计）人： | 张靖郁;廖建发 | 申请（专利权）人： | 金鸿医材科技股份有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/56 | 分类号： | C23C14/56;C23C14/34 |
| 代理公司： | 隆天知识产权代理有限公司 72003 | 代理人： | 王芝艳;冯志云 |
| 地址： | 中国台湾台北市松*** | 国省代码： | 中国台湾;71 |
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| 摘要： | 本发明提供一种具有复合靶材的卷对卷溅镀制程，包含：自一放卷轴输出一软性高分子基材；溅镀一复合靶材至该软性高分子基材上，以形成有一贵金属薄膜与一一般金属薄膜；利用激光在该一般金属薄膜与该贵金属薄膜上分别形成一第一电极图案与一第二电极图案；于该第二电极图案上涂布一检测物质层；以及将软性高分子基材收入至一收卷轴。并提供利用具有复合靶材的卷对卷溅镀制程生产的制成品。相较于现有技术，本发明利用将多种金属分段接合所形成的复合靶材进行溅镀，能在软性基材上同时形成多种金属薄膜，具有缩短加工工时与工序以节省成本的效果。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 具有 复合 卷溅镀制程 与其 制成品 | ||
【主权项】：
1.一种具有复合靶材的卷对卷溅镀制程，其包含以下步骤：自一放卷轴输出一软性高分子基材；溅镀一复合靶材至该软性高分子基材上，以同时形成有一贵金属薄膜与一一般金属薄膜；利用激光在该一般金属薄膜与该贵金属薄膜上分别形成一第一电极图案与一第二电极图案；于该第二电极图案上涂布一检测物质层；以及将该软性高分子基材收入至一收卷轴；其中，该复合靶材包含有一金属基板、一接合剂、一贵金属与一一般金属，该金属基板上设置该接合剂，再将该贵金属与该一般金属设置于该接合剂上以形成该复合靶材。
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