[发明专利]高定位精度的镜片可更换的光刻物镜镜框

摘要

高定位精度的镜片可更换的光刻物镜镜框属于深紫外投影光刻物镜结构设计与装调技术领域，目的在于解决现有技术存在的结构复杂、操作空间大、定位及重复定位精度低和镜片易被污染的问题。本发明的外镜框为圆筒结构，外镜框内部两个侧壁设置有滑槽，内部侧壁上设置有圆锥槽和V型槽，外镜框内部上端面靠近开口一端设置有球头A；内镜框为方形结构，任意相对的两个侧壁上设置有滑轨，与滑轨所在侧壁相邻的一个侧壁上设置有两个球头B，两个球头B的位置分别与圆锥槽和V型槽相对应，方形结构上端面与球头A对应位置处设置有上平台；内镜框的滑轨与外镜框内的滑槽配合，内镜框外侧设置有防护盖，防护盖与外镜框通过螺钉固定连接。

主权项

高定位精度的镜片可更换的光刻物镜镜框，包括外镜框(1)和内镜框(2)，其特征在于，还包括防护盖(4)；所述外镜框(1)为圆筒结构，所述外镜框(1)内部为方形空间，所述镜框与方形空间任意一个侧壁相对位置开有开口，所述方形空间与所述开口垂直的两个侧壁设置有滑槽(102)，所述方形空间与所述开口相对的侧壁上一端设置有圆锥槽(104)，另一端设置有V型槽(103)，所述V型槽(103)与所述外镜框(1)上端面平行，所述方形空间上端面靠近开口一端设置有球头A(105)；所述内镜框(2)为方形结构，任意相对的两个侧壁上设置有滑轨(202)，与所述滑轨(202)所在侧壁相邻的一个侧壁上设置有两个球头B(201)，两个球头B(201)的位置分别与所述圆锥槽(104)和V型槽(103)相对应，所述方形结构上端面与所述球头A(105)对应位置处设置有上平台(203)；所述内镜框(2)的滑轨(202)与所述外镜框(1)内的滑槽(102)配合，所述内镜框(2)外侧设置有防护盖(4)，所述防护盖(4)与所述外镜框(1)通过螺钉固定连接。