[发明专利]用于减压扩散系统的二级密封装置在审

专利信息
申请号: 201510878226.6 申请日: 2015-12-04
公开(公告)号: CN105483831A 公开(公告)日: 2016-04-13
发明(设计)人: 李明;谢振勇;符慧能;肖洁;吴得轶 申请(专利权)人: 湖南红太阳光电科技有限公司
主分类号: C30B31/06 分类号: C30B31/06
代理公司: 湖南兆弘专利事务所 43008 代理人: 周长清;厉田
地址: 410205 湖南省*** 国省代码: 湖南;43
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摘要: 发明公开了一种用于减压扩散系统的二级密封装置,包括石英管,石英管的一端管口设有同心的内密封端面和外密封端面,内密封端面连接有一级密封门体并形成反应腔,外密封端面连接有二级密封门体并形成过渡腔,二级密封门体连接有用于防止二级密封门体压损外密封端面的顶推平衡组件。该二级密封装置具有结构简单可靠、可防止外密封端面的应力损伤的优点。
搜索关键词: 用于 减压 扩散 系统 二级 密封 装置
【主权项】:
一种用于减压扩散系统的二级密封装置,包括石英管(1),所述石英管(1)的一端管口设有同心的内密封端面(11)和外密封端面(12),所述内密封端面(11)连接有一级密封门体(2)并形成反应腔(3),所述外密封端面(12)连接有二级密封门体(4)并形成过渡腔(5),其特征在于:所述二级密封门体(4)连接有用于防止二级密封门体(4)压损外密封端面(12)的顶推平衡组件(6)。
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