[发明专利]用于减压扩散系统的二级密封装置

权利要求书

1.一种用于减压扩散系统的二级密封装置，包括石英管（1），所述石英管（1）的一端管口设有同心的内密封端面（11）和外密封端面（12），所述内密封端面（11）连接有一级密封门体（2）并形成反应腔（3），所述外密封端面（12）连接有二级密封门体（4）并形成过渡腔（5），其特征在于：所述二级密封门体（4）连接有用于防止二级密封门体（4）压损外密封端面（12）的顶推平衡组件（6）。

2.根据权利要求1所述的用于减压扩散系统的二级密封装置，其特征在于：所述顶推平衡组件（6）包括顶推部件（61）和伸缩气缸（62），所述顶推部件（61）一端与二级密封门体（4）的内侧面连接，另一端与伸缩气缸（62）连接。

3.根据权利要求2所述的用于减压扩散系统的二级密封装置，其特征在于：所述顶推部件（61）包括顶杆（611）、缓冲弹簧（612）和顶环（613），所述顶环（613）与二级密封门体（4）的内侧面相抵，所述顶杆（611）一端通过缓冲弹簧（612）与顶环（613）连接，另一端与伸缩气缸（62）连接。

4.根据权利要求2或3所述的用于减压扩散系统的二级密封装置，其特征在于：所述伸缩气缸（62）设有两个，两个所述伸缩气缸（62）之间连接有贯通的环形管（7）。

5.根据权利要求4所述的用于减压扩散系统的二级密封装置，其特征在于：其中一个所述伸缩气缸（62）上开设有用于调节伸缩气缸（62）气体流量的进气口（621）和排气口（622）。

6.根据权利要求5所述的用于减压扩散系统的二级密封装置，其特征在于：所述二级密封门体（4）与石英管（1）之间连接有排气管（8），所述排气口（622）与排气管（8）连通。