[发明专利]快速更换真空腔体内消耗件的装置与方法在审
| 申请号： | 201510873555.1 | 申请日： | 2015-12-02 |
| 公开（公告）号： | CN105369207A | 公开（公告）日： | 2016-03-02 |
| 发明（设计）人： | 李书晓 | 申请（专利权）人： | 武汉华星光电技术有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/48 | 分类号： | C23C14/48 |
| 代理公司： | 深圳市德力知识产权代理事务所 44265 | 代理人： | 林才桂 |
| 地址： | 430070 湖北省武汉市*** | 国省代码： | 湖北;42 |
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| 摘要： | 本发明提供一种快速更换真空腔体内消耗件的装置与方法，将真空治具(2)与基座(1)密封连接，通过真空泵(3)对真空治具(2)抽真空，使用取物杆(22)将基座(1)的可取面外接件(13)及可取面(12)从其外圈平坦面(11)围成的封闭空间内抽出，然后对真空治具(2)破真空，分离真空治具(2)与基座(1)，固定安装新的消耗件(5)后，再密封连接真空治具(2)与基座(1)，对真空治具(2)抽真空，使用取物杆(22)将可取面外接件(13)及可取面(12)装入所述外圈平坦面(11)围成的封闭空间内，消耗件(5)被可取面(12)带入真空腔体，更换消耗件的过程无需对真空腔体破真空，即能够在短时间内更换真空腔体内的消耗件。 | ||
| 搜索关键词： | 快速 更换 空腔 体内 消耗 装置 方法 | ||
【主权项】：
一种快速更换真空腔体内消耗件的装置，其特征在于，包括：一固定安装于真空腔体壁的基座(1)、一与所述基座(1)进行可拆卸连接的真空治具(2)、及与所述真空治具(2)连通的真空泵(3)；真空腔体壁在对应安装基座(1)的部位开口；所述基座(1)包括外圈平坦面(11)、可拆卸连接于外圈平坦面(11)围成的封闭空间内的可取面(12)、固定于所述可取面(12)相对远离真空腔体一侧的可取面外接件(13)、及一用于打开与封闭真空腔体壁开口的阀门(14)；消耗件(5)固定安装于所述可取面(12)朝向真空腔体的一侧，经由真空腔体壁开口伸入真空腔体内；所述真空治具(2)包括一治具腔体(21)、及一取物杆(22)；所述治具腔体(21)的一端开口形成对接面(23)，另一端设有供取物杆(22)沿其轴向运动的取物杆容纳孔(24)；所述可取面外接件(13)中部设有取物杆连接孔(131)，所述取物杆(22)通过取物杆连接孔(131)与可取面外接件(13)固定。
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