[发明专利]引线框的制造方法在审

专利信息
申请号: 201510859485.4 申请日: 2015-11-30
公开(公告)号: CN105655259A 公开(公告)日: 2016-06-08
发明(设计)人: 高桥俊弘 申请(专利权)人: 友立材料株式会社
主分类号: H01L21/48 分类号: H01L21/48
代理公司: 北京银龙知识产权代理有限公司 11243 代理人: 张敬强;严星铁
地址: 日本*** 国省代码: 日本;JP
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摘要: 发明的目的在于提供一种能够不使工序数、制造成本增加而仅对需要的位置实施表面粗化处理的引线框的制造方法。一种具有通过半蚀刻加工而形成的凹部(14),并且表面局部地进行粗化处理的引线框(15)的制造方法,在上述方法中,具有:使用具有半蚀刻加工用图案(84)和贯通蚀刻加工用图案(83)的掩模(80)对金属板(10)进行蚀刻,在该金属板形成上述凹部和贯通图案(13)的蚀刻工序;将上述半蚀刻加工用图案变形为粗化处理用的开口(82)的掩模变形工序;以及使用上述半蚀刻加工用图案变形为上述粗化处理用的开口的上述掩模(80a)对上述金属板进行粗化处理的粗化处理工序。
搜索关键词: 引线 制造 方法
【主权项】:
一种引线框的制造方法,该引线框具有通过半蚀刻加工而形成的凹部,并且表面局部地被粗化处理,上述引线框的制造方法的特征在于,具有:使用具有半蚀刻加工用图案和贯通蚀刻加工用图案的掩模对金属板进行蚀刻,在该金属板形成上述凹部和贯通图案的蚀刻工序;将上述半蚀刻加工用图案变形为粗化处理用的开口的掩模变形工序;以及使用上述半蚀刻加工用图案变形为上述粗化处理用的开口的上述掩模,对上述金属板进行粗化处理的粗化处理工序。
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