[发明专利]振动辅助抛光模块

摘要

本发明公开了一种振动辅助抛光模块，包含一抛光盘、一工件承载盘、一线性滑轨机构、一连杆、一马达及一可调式偏心机构。线性滑轨机构包括一滑轨、一导引座与一导引杆，滑轨枢接于工件承载盘且嵌设于导引座内，导引杆设置于导引座上；连杆枢接于滑轨；可调式偏心机构具有一座体连接于马达的动力轴，座体与连杆以一枢接轴相接，枢接轴与动力轴的轴心偏心设置；由动力轴驱动座体旋转且带动连杆偏心摆动，同时通过导引座对滑轨的限位作用，使滑轨作线性移动，并驱动工件承载盘产生水平径向振幅及低频振动，且同时使得工件与抛光盘的接触面产生低频振动。

主权项

一种振动辅助抛光模块，其包含：一抛光盘，可旋转；一工件承载盘，用以承载一工件，该工件设置于该工件承载盘，使该工件的一加工面朝向该抛光盘；一线性滑轨机构，其包括一滑轨、一导引座与一导引杆，该滑轨枢接于该工件承载盘相对于设有该工件的一面，导引座具有一凹槽，且该滑轨嵌设于该凹槽内，该导引杆设置于该导引座上，该导引座可对该滑轨产生限位作用；一连杆，其具有相对的一第一端与一第二端，该第一端枢接于该滑轨；一马达，其具有一动力轴用以提供动力；以及一可调式偏心机构，其具有一座体，该座体连接于该动力轴，且该座体与该连杆的该第二端以一枢接轴相互枢接，该枢接轴与该动力轴的轴心偏心设置；由该动力轴驱动该座体旋转且带动该连杆偏心摆动，由该连杆将该动力轴的动力传输至该滑轨，同时通过该导引座对该滑轨的限位作用，使该滑轨作平行于一第一方向的线性移动，并驱动该工件承载盘产生一水平径向振幅及一低频振动，且同时使得该工件与该抛光盘的接触面产生该低频振动。