[发明专利]振动辅助抛光模块

权利要求书

1.一种振动辅助抛光模块，其包含：

一抛光盘，可旋转；

一工件承载盘，用以承载一工件，该工件设置于该工件承载盘，使该工件的一加工面朝向该抛光盘；

一线性滑轨机构，其包括一滑轨、一导引座与一导引杆，该滑轨枢接于该工件承载盘相对于设有该工件的一面，导引座具有一凹槽，且该滑轨嵌设于该凹槽内，该导引杆设置于该导引座上，该导引座可对该滑轨产生限位作用；

一连杆，其具有相对的一第一端与一第二端，该第一端枢接于该滑轨；

一马达，其具有一动力轴用以提供动力；以及

一可调式偏心机构，其具有一座体，该座体连接于该动力轴，且该座体与该连杆的该第二端以一枢接轴相互枢接，该枢接轴与该动力轴的轴心偏心设置；

由该动力轴驱动该座体旋转且带动该连杆偏心摆动，由该连杆将该动力轴的动力传输至该滑轨，同时通过该导引座对该滑轨的限位作用，使该滑轨作平行于一第一方向的线性移动，并驱动该工件承载盘产生一水平径向振幅及一低频振动，且同时使得该工件与该抛光盘的接触面产生该低频振动。

2.如权利要求1所述的振动辅助抛光模块，其中该可调式偏心机构包括：

一滑块，设置于该座体内，该动力轴穿设于该滑块；以及

一调整螺栓，螺合于该滑块，通过旋转该调整螺栓，可驱动该滑块沿该调整螺栓的轴心方向位移，以改变该枢接轴与该动力轴的轴心间的偏心量。

3.如权利要求2所述的振动辅助抛光模块，其中该座体设有一固定螺栓，该固定螺栓螺入该座体内且顶抵于该滑块，以固 定该滑块的位置。

4.如权利要求1所述的振动辅助抛光模块，其中该连杆由一第一杆体与一第二杆体连接构成，该第一杆体的一端为该第一端，该第二杆体相对于与该第一杆体连接的一端为该第二端，该第一杆体与该第二杆体的连接处分别呈对应的一第一阶梯状结构与一第二阶梯状结构，该第一阶梯状结构与该第二阶梯状结构相互搭接。

5.如权利要求4所述的振动辅助抛光模块，其中当该工件承载盘被驱动与该抛光盘分离时，该第一杆体可与该工件承载盘同步移动且与该第二杆体分离。

6.如权利要求1所述的振动辅助抛光模块，其中该水平径向振动的振幅为可调整，其范围为±0.1mm～±10mm。

7.如权利要求1所述的振动辅助抛光模块，其中该水平径向振动的频率为可调整，其范围为0.1～10Hz。

8.如权利要求1所述的振动辅助抛光模块，其中该第一方向垂直且通过于该抛光盘的旋转中心轴。

9.如权利要求1所述的振动辅助抛光模块，其中该工件为芯片基板。