[发明专利]一种基于可变聚焦光路的激光光束质量测量装置在审
| 申请号： | 201510851520.8 | 申请日： | 2015-11-26 |
| 公开（公告）号： | CN105466666A | 公开（公告）日： | 2016-04-06 |
| 发明（设计）人： | 左强;张庸;闫阿泽;万文;王晓通;于海涛 | 申请（专利权）人： | 湖北三江航天红峰控制有限公司 |
| 主分类号： | G01M11/00 | 分类号： | G01M11/00 |
| 代理公司： | 华中科技大学专利中心 42201 | 代理人： | 廖盈春 |
| 地址： | 432000 湖*** | 国省代码： | 湖北;42 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种基于可变聚焦光路的激光光束质量测量装置和方法，其构成包括同一光轴上的负透镜、正透镜、衰减模块和感光元件，以及用于带动负透镜和感光元件运动的两个直线导轨，用于控制直线导轨移动和采集分析感光元件图像的数据处理模块；可变聚焦光路由负透镜和正透镜组成，其中负透镜安装在直线导轨上，可在直线导轨的行程范围内移动，正透镜固定安装。数据处理模块可通过控制直线导轨的移动位置来精确控制负透镜和正透镜之间的间距，实现可变聚焦的目的；衰减模块实现对入射激光束功率的衰减，以保证入射到感光元件上激光功率合适；感光元件安装在直线导轨上，能在直线导轨的行程范围内移动，以实现在不同的位置对激光束光斑的大小进行测量。本发明可以极大的拓展激光光束质量测量系统的适用范围，提高测量精度。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 基于 可变 聚焦 激光 光束 质量 测量 装置 | ||
【主权项】：
一种基于可变聚焦光路的激光光束质量测量装置，其特征在于，包括：可变聚焦模块，感光元件(4)，用于带动所述感光元件(4)移动的第一直线导轨(6)和数据处理模块(7)；可变聚焦模块用于对接受的待测激光光束进行可变聚焦处理，使得聚焦的位置可调；感光元件(4)，其输入端用于接收聚焦后的激光，并输出光斑图像数据；数据处理模块(7)，其输入端连接至感光元件(4)的输出端，第一输出端连接至第一直线导轨(6)的控制端，第二输出端连接至可变聚焦模块的控制端；用于控制第一直线导轨(6)带动感光元件(4)移动，控制第二直线导轨(5)带动负透镜(1)移动，采集感光元件(4)在不同位置的光斑图像数据，并对光斑图像数据进行处理后输出激光光束质量M2因子。
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