[发明专利]用于衬底涂布的上底漆材料有效
| 申请号： | 201510836671.6 | 申请日： | 2015-11-26 |
| 公开（公告）号： | CN106318002B | 公开（公告）日： | 2022-11-22 |
| 发明（设计）人： | 郑雅玲;张庆裕 | 申请（专利权）人： | 台湾积体电路制造股份有限公司 |
| 主分类号： | B05D1/00 | 分类号： | B05D1/00;B05D5/12;B05D7/00;C09D7/20 |
| 代理公司： | 北京律盟知识产权代理有限责任公司 11287 | 代理人： | 路勇 |
| 地址： | 中国台湾新竹市*** | 国省代码： | 台湾;71 |
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| 摘要： | 本发明提供一种用于衬底涂布的上底漆材料。在例示性实施例中，所述涂布技术包含接收衬底及将上底漆材料涂覆到所述衬底。所述上底漆材料的所述涂覆可包含旋转所述衬底以在所述衬底上径向分散所述上底漆材料。在所述实施例中，所述上底漆材料包含每分子具有至少六个碳原子的溶剂。成膜材料涂覆到所述衬底的所述上底漆材料上，且所述涂覆包含旋转所述衬底以在所述衬底上径向分散所述成膜材料。所述上底漆材料及所述成膜材料经蒸发以留下呈固态形式的所述成膜材料的组分。在各种实施例中，所述上底漆材料是基于以下各者中的至少一者来选择：蒸发速率、粘度或所述上底漆材料与所述成膜材料之间的分子间力。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 衬底 底漆 材料 | ||
【主权项】：
一种薄膜形成方法，所述方法包括：接收衬底；将上底漆材料涂覆到所述衬底，其中所述上底漆材料包含每分子具有至少六个碳原子的溶剂；将成膜材料涂覆到所述衬底的所述上底漆材料上；以及蒸发所述上底漆材料以及所述成膜材料以留下所述成膜材料的组分。
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