[发明专利]透射激光束的检测方法有效
| 申请号： | 201510822647.7 | 申请日： | 2015-11-24 |
| 公开（公告）号： | CN105643118B | 公开（公告）日： | 2019-04-26 |
| 发明（设计）人： | 相川力;远藤智裕 | 申请（专利权）人： | 株式会社迪思科 |
| 主分类号： | B23K26/70 | 分类号： | B23K26/70;H01L21/78;G01J1/50 |
| 代理公司： | 北京三友知识产权代理有限公司 11127 | 代理人： | 李辉;于靖帅 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 提供透射激光束的检测方法，能够容易且低价地确认漏光的状态。透射激光束的检测方法将对于包含第1面和与该第1面相反侧的第2面的板状的被加工物具有透过性的波长的激光束的聚光点定位在被加工物的内部而从第1面侧照射该激光束，对透射到该第2面侧的激光束进行检测，该方法具有如下的步骤：感光片定位步骤，使具有感光层的感光片的该感光层与被加工物的该第2面相对，利用卡盘工作台的保持面隔着该感光片保持被加工物；激光束照射步骤，在实施了该感光片定位步骤之后，从被加工物的该第1面侧照射该激光束；以及确认步骤，在实施了该激光束照射步骤之后，借助形成于该感光片的该感光层的感光反应区域来确认透射激光束的状态。 | ||
| 搜索关键词： | 透射 激光束 检测 方法 | ||
【主权项】：
1.一种透射激光束的检测方法，将对于包含第1面和与该第1面相反侧的第2面的板状的被加工物具有透过性的波长的激光束的聚光点定位在被加工物的内部，从第1面侧照射该激光束，对透射到该第2面侧的激光束进行检测，其特征在于，该透射激光束的检测方法具有如下的步骤：感光片定位步骤，使具有感光层的感光片的该感光层与被加工物的该第2面相对，并利用卡盘工作台的保持面隔着该感光片保持被加工物；激光束照射步骤，在实施了该感光片定位步骤之后，从被加工物的该第1面侧照射该激光束；以及确认步骤，在实施了该激光束照射步骤之后，借助形成于该感光片的该感光层的感光反应区域来确认所述透射激光束的强度分布是否相对于所述透射激光束的中心对称。
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