[发明专利]基板处理装置及基板处理方法在审
| 申请号： | 201510795430.1 | 申请日： | 2013-04-09 |
| 公开（公告）号： | CN105467627A | 公开（公告）日： | 2016-04-06 |
| 发明（设计）人： | 鬼头义昭;铃木智也;堀正和 | 申请（专利权）人： | 株式会社尼康 |
| 主分类号： | G02F1/13 | 分类号： | G02F1/13;B65H19/18;B29C65/00;B29C65/18;B29C65/50;B29C65/74;B29C65/78;C03B33/023;G02F1/1333 |
| 代理公司： | 北京市金杜律师事务所 11256 | 代理人： | 陈伟;孙明轩 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 一种基板处理装置，具有：第1安装部，其安装卷绕有长条状的第1基板的第1辊；第2安装部，其安装卷绕有长条状的第2基板的第2辊；处理机构，其将所述第1基板和所述第2基板的某一个作为处理基板，一边沿所述长边方向输送一边实施规定处理；缓冲机构，其配置在所述处理机构与所述第1安装部之间，将从所述第1辊供给的所述第1基板在规定的最长储存范围内暂时储存后，向所述处理机构送出；和基板连接更换机构，其在所述缓冲机构与所述第1安装部之间切断所述第1基板，并且将从所述第2辊供给的所述第2基板的前端部接合在所述切断的所述第1基板的终端部，并向所述缓冲机构送出。 | ||
| 搜索关键词： | 处理 装置 方法 | ||
【主权项】：
一种基板处理装置，其特征在于，具有：第1安装部，其安装卷绕有长条状的第1基板的第1辊；第2安装部，其安装卷绕有长条状的第2基板的第2辊；处理机构，其将所述第1基板和所述第2基板的某一个作为处理基板，一边沿长边方向输送一边实施规定处理；缓冲机构，其配置在所述处理机构与所述第1安装部之间，将从所述第1辊供给的所述第1基板在规定的最长储存范围内暂时储存后，向所述处理机构送出；和基板连接更换机构，其在所述缓冲机构与所述第1安装部之间切断所述第1基板，并且将从所述第2辊供给的所述第2基板的前端部接合在所述切断的所述第1基板的终端部，并向所述缓冲机构送出。
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