[发明专利]环保铝镜真空镀膜设备

摘要

本发明公开一种环保铝镜真空镀膜设备，包括依次连接的进片台、多个真空室和出片台，多个真空室包括依次连接的前粗抽室、前精抽室、清洗室、第一过渡室、第一镀膜室、第二过渡室、第二镀膜室、后精抽室和后粗抽室，进片台上、各个真空室内和出片台上通过传动辊进行工件输送；清洗室内设置中频离子源组件，第一镀膜室内和第二镀膜室内均设置高效溅射旋转靶组件。本环保铝镜真空镀膜设备采用中频离子源对玻璃工件进行清洗，可有效去除传统工艺无法去除的有机物，提高铝膜在玻璃表面的附着力，提高铝镜的反射率。其旋转靶采用带有5路磁铁的高效溅射旋转靶，可达到提高靶材的利用率，同时使设备结构得到简化，降低设备成本和产品加工成本。

主权项

1.环保铝镜真空镀膜设备，其特征在于，包括依次连接的进片台、多个真空室和出片台，多个真空室包括依次连接的前粗抽室、前精抽室、清洗室、第一过渡室、第一镀膜室、第二过渡室、第二镀膜室、后精抽室和后粗抽室，进片台上、各个真空室内和出片台上通过传动辊进行工件输送；清洗室内设置中频离子源组件，第一镀膜室内和第二镀膜室内均设置高效溅射旋转靶组件；所述中频离子源组件至少有两组，每组中频离子源组件包括一个中频电源和并排设置的两个靶连接机构，中频电源连接于两个靶连接机构之间，每个靶连接机构下方设置一个靶材，两个靶材之间形成一个电场；所述高效溅射旋转靶组件包括靶管、靶芯和驱动机构，靶芯一端与驱动机构连接，靶芯设于靶管内部，靶芯上设有五路磁铁，五路磁铁呈扇形分布于靶芯外周，五路磁铁在靶管与靶芯之间的空间内形成两个环形的溅射跑道；所述靶连接机构包括第一连接轴、固定螺母、第一绝缘套、固定板和第二绝缘套，第一连接轴的上端设置冷却水接咀，第一连接轴的下端设置靶材，靶材与中频电源连接，固定螺母、第一绝缘套、固定板和第二绝缘套由上至下依次设于第一连接轴的外周，固定螺母设置于第一连接轴上冷却水接咀的安装处下方。