[发明专利]一种双波长单曝光干涉测量方法及系统在审
| 申请号： | 201510785708.7 | 申请日： | 2015-11-14 |
| 公开（公告）号： | CN105300276A | 公开（公告）日： | 2016-02-03 |
| 发明（设计）人： | 钟丽云;黄林波;吕晓旭;熊佳翔;刘胜德 | 申请（专利权）人： | 华南师范大学 |
| 主分类号： | G01B9/021 | 分类号： | G01B9/021 |
| 代理公司： | 深圳市智圈知识产权代理事务所(普通合伙) 44351 | 代理人： | 韩绍君 |
| 地址： | 510631 广东*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种基于空间载频相移的双波长单次曝光干涉测量方法及系统，使用单色黑白图像传感器记录一幅包含了空间载频的双波长混叠离轴干涉图，接着将一幅所述干涉图转化为多幅双波长相移子干涉图，然后利用最小二乘相位提取算法同时得到两个单波长下的包裹相位，进而再经过一个简单的减法运算即可得到合成波长下的相位。本发明的特点在于提出了一种大量程的单次曝光干涉测量方法，这种测量方法装置简单，但稳定可靠，精度高，最明显的优势是只需要采集一幅干涉图即可实现两种波长下的相移，拓展了相移法的应用领域，它在的相位测量中防止环境干扰或动态相位测量中有很好的应用前景。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 波长 曝光 干涉 测量方法 系统 | ||
【主权项】：
一种双波长单曝光干涉测量方法，其特征在于包含以下步骤：使用单色黑白图像传感器相机采集一幅包含空间载频的双波长混叠离轴干涉图；将所述包含空间载频的双波长混叠离轴干涉图转化为N(N≥3)幅相移子干涉图；对所述N幅子干涉图使用最小二乘相位提取算法，计算出待测物体在两个波长下的相位分布；使用所述两个波长的包裹相位相减，得到合成波长下待测物体的相位分布；从所述合成波长下待测物体的相位分布映射到待测物体的高度分布，完成待测物体三维测量。
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