[发明专利]一种气体分子污染物热处理单元在审
申请号: | 201510767610.9 | 申请日: | 2015-11-10 |
公开(公告)号: | CN105289203A | 公开(公告)日: | 2016-02-03 |
发明(设计)人: | 曾宪祥;张纯;任思雨;苏君海;李建华 | 申请(专利权)人: | 信利(惠州)智能显示有限公司 |
主分类号: | B01D53/06 | 分类号: | B01D53/06;B01D53/86 |
代理公司: | 广州三环专利代理有限公司 44202 | 代理人: | 章兰芳 |
地址: | 516006 广东省惠州市仲*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | 本发明提供一种气体分子污染物热处理单元,包括供空气依次经过的离子吸附板、泵和冷冻机、蒸发器、风扇组和过滤器,其特征在于:还设有沸石转轮装置,所述沸石转轮装置包括沸石区、脱附区和冷却区,沸石区用于供空气通过进入离子吸附板,脱附区用于将沸石区输出的部分含有机物的空气加热后脱附,冷却区用于冷却部分加热脱附的空气。本发明提供的气体分子污染物热处理单元(TAU)通过沸石转轮装置的沸石区供空气依次进入离子吸附板过滤无机污染物,通过沸石转轮装置的脱附区过滤有机污染物,因可对含有挥发性有机化合物(VOC)的气体进行过滤,提高了TAU过滤有机物的效率,提高曝光区域所需空气的洁净度。 | ||
搜索关键词: | 一种 气体 分子 污染物 热处理 单元 | ||
【主权项】:
一种气体分子污染物热处理单元,包括供空气依次经过的离子吸附板、泵和冷冻机、蒸发器、风扇组和过滤器,其特征在于:还设有沸石转轮装置,所述沸石转轮装置包括沸石区、脱附区和冷却区,沸石区用于供空气通过进入离子吸附板,脱附区用于将沸石区输出的部分含有机物的空气加热后脱附,冷却区用于冷却部分加热脱附的空气。
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