[发明专利]气动微位移波纹管驱动器

摘要

本发明公开了一种气动微位移波纹管驱动器，属于精密机械技术领域。解决了现有技术中微位移控制驱动器高发热、低行程、占用空间大、污染环境等技术问题。该驱动器主要包括法兰、驱动器外壳、驱动杆、快速接头、焊接波纹管、柔性铰链和球头，驱动器外壳顶端与法兰密封固定，底端通过快速接头与气源连接，驱动杆下部设置在法兰、驱动器外壳和快速接头形成的腔体内，上端贯穿法兰的中心通孔后伸出，顶端用于固定球头，焊接波纹管的顶端边缘与法兰密封固定，底端边缘与驱动杆密封固定，柔性铰链套装在驱动杆的上端，且固定在法兰上。该驱动器具有高精度的位移输出，无发热，高响应速度、大行程、小体积等优点，特别适用于高精密纳米驱动及高精密定位系统。

主权项

气动微位移波纹管驱动器，其特征在于，主要包括：法兰(1)、驱动器外壳(2)、驱动杆(3)、快速接头(4)、焊接波纹管(5)、柔性铰链(6)和球头(8)；所述驱动器外壳(2)顶端开口，底端设有安装孔；所述法兰(1)设有中心通孔和多个通气孔，法兰(1)密封固定在驱动器外壳(2)的顶端端面上；所述快速接头(4)密封固定在驱动器外壳(2)的安装孔上；所述驱动杆(3)的上端设有第三阶梯，下端设有第一阶梯，下表面开有沟槽，驱动杆(3)置于驱动器外壳(2)、法兰(1)和快速接头(4)形成的腔体内，驱动杆(3)的上端贯穿法兰(1)的中心通孔，并与法兰(1)密封润滑连接，沟槽位于快速接头(4)的上方；所述焊接波纹管(5)套装在驱动杆(3)的中部，底端边缘与驱动杆(3)的第一阶梯密封连接，顶端边缘与法兰(1)密封连接，且焊接波纹管(5)、驱动杆(3)和法兰(1)形成的腔体与通气孔连通；所述柔性铰链(6)由内环、外环及连接内环和外环的多个筋板组成，所述外环固定在法兰(1)上，所述内环套装在驱动杆(3)的上端，内环底面的内边缘与驱动杆(3)的第三阶梯接触，柔性铰链(6)只具有轴向自由度；所述球头(8)固定在驱动杆(3)的顶端。