[发明专利]离子感测场效晶体管在审
申请号: | 201510740662.7 | 申请日: | 2015-11-04 |
公开(公告)号: | CN105261640A | 公开(公告)日: | 2016-01-20 |
发明(设计)人: | 卓恩宗;赖朝松;章钧;杨家铭;游镇宇;卓祯福;林志豪;赖颖辉;江明峯;陈嘉新 | 申请(专利权)人: | 友达光电股份有限公司 |
主分类号: | H01L29/772 | 分类号: | H01L29/772;H01L29/06 |
代理公司: | 北京律诚同业知识产权代理有限公司 11006 | 代理人: | 梁挥;鲍俊萍 |
地址: | 中国台湾新竹科*** | 国省代码: | 中国台湾;71 |
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摘要: | 一种离子感测场效晶体管,其包括一载子阻陷迭层、一栅极、一通道层、一源极、一漏极以及一感测薄膜。栅极与通道层配置于载子阻陷迭层的二相对侧,源极以及漏极与通道层电性连接。感测薄膜配置于通道层上,且通道层位于载子阻陷迭层与感测薄膜之间。 | ||
搜索关键词: | 离子 感测场效 晶体管 | ||
【主权项】:
一种离子感测场效晶体管,其特征在于,包括:一载子阻陷迭层;一栅极;一通道层,该栅极与该通道层配置于该载子阻陷迭层的二相对侧;一源极与一漏极,与该通道层电性连接;以及一感测薄膜,配置于该通道层上,且该通道层位于该载子阻陷迭层与该感测薄膜之间。
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