[发明专利]热释电红外探测单元及制造方法及其热释电红外探测器

摘要

本发明实施例公开了一种热释电探测单元，包括：陶瓷衬底；钽酸锂晶片；下电极层，形成在钽酸锂晶片的第一表面上，并且由多孔黑金金属薄膜形成并与陶瓷衬底接触；上电极层，形成在钽酸锂晶片的第二表面上，并且由黑金金属薄膜形成；过渡层，形成在上电极层上；介质层，形成在过渡层上；吸收层，形成在介质层上。本发明的实施例中，下电极层是多孔的结构，具有较大的孔率，因此热传导率较低，可以降低热损失。因此该热释电探测器可以较多的吸收红外辐射及太赫兹辐射，具有较小的热损失，从而提高了热释电探测器的性能。

主权项

一种热释电探测单元，其特征在于，包括：陶瓷衬底；钽酸锂晶片，所述钽酸锂晶片包括第一表面和与所述第一表面相反的第二表面；下电极层，所述下电极层形成在所述钽酸锂晶片的第一表面上，并且所述下电极层由多孔黑金金属薄膜形成，其中所述下电极层与所述陶瓷衬底接触；上电极层，所述上电极层形成在所述钽酸锂晶片的第二表面上，并且所述上电极层由黑金金属薄膜形成；过渡层，所述过渡层形成在所述上电极层上，并且所述过渡层由铁氧体材料形成；介质层，所述介质层形成在所述过渡层上，并且所述介质层由氮化硅材料形成；吸收层，所述吸收层形成在所述介质层上，并且所述吸收层由黑金金属薄膜形成。