[发明专利]一种管式POCl3扩散方阻自动调整方法

摘要

本发明公开了一种管式POCl₃扩散方阻自动调整方法。它包括液态磷源扩散设备、自动上下料机器以及与液态磷源扩散设备、自动上下料机器连接的计算机，各个液态磷源扩散设备具有与之对应的通过软件程序自动生成的DLV文件，计算机内存储上述DLV文件并能够对各个液态磷源扩散设备对应温区的方阻值进行计算处理，在生产过程中，液态磷源扩散设备自动调用并读取DLV文件的相关参数，通过对DLV参数的调用，自动对液态磷源扩散设备内不同温区的扩散温度进行调整。采用上述的方法后，建立的数据链接变量文件DLV，在生产过程中，通过DLV文件的自动调用，实现连续生产过程扩散方阻的自动调节。

主权项

一种POCl₃扩散方阻自动调整方法，其特征在于：包括液态磷源扩散设备、自动上下料机器以及与液态磷源扩散设备、自动上下料机器连接的计算机，各个所述液态磷源扩散设备具有与之对应的通过软件程序自动生成的DLV文件，所述计算机内存储上述DLV文件并能够对各个所述液态磷源扩散设备对应温区的方阻值进行计算处理，计算时各个温区分开独立计算，对应公式如下：$A\left(R\right)m=\frac{{\Σ}_{i=1}^{n}Ri}{n}$CTEMP_m＝(A(R)m‑R_target)×K_corr+CTEMP+TEM_de其中A(R)_m代表连续生产n舟的对应温区的方阻均值，Ri为第i舟对应温区的方阻计算值，CTEMP_m为第m次的自动调整温度值，R_target为预设目标方阻值，K_corr为与磷源液位高度相关的第m次温度调整的温度修正系数，CTEMP为炉管初始设定沉积温度,TEM_de为炉管不同温区的沉积温度补偿值；在生产过程中，液态磷源扩散设备自动调用并读取DLV文件的相关参数，通过对DLV参数的调用，自动对液态磷源扩散设备内不同温区的扩散温度进行调整。