[发明专利]一种新型微型元件三维测量系统及其测量方法

摘要

一种新型微型元件三维测量系统及其测量方法，所述系统包括将用于投影已知图形的DLP微型投影仪、用于采集受待测物体影响发生偏折或变形图像的照相装置、用于数据处理的计算机和用于放置待测物体的载物平台；所述照相装置包括CCD相机、Scheimpflug倾斜调整器和镜头，所述镜头通过所述Scheimpflug倾斜调整器连接于所述CCD相机，所述CCD相机的CCD芯片相对所述镜头的平面倾斜，其倾斜夹角为A；所述CCD芯片的平面、所述镜头的平面与所述物体的平面相交于同一条直线；所述计算机分别与所述DLP微型投影仪和所述照相装置连接。本发明的系统适用于条纹投影装置，同时，该系统不需要重新设计投影仪和与之配套的镜头，实现方便，成本低廉。

主权项

一种新型微型元件三维测量系统，其特征在于：包括将用于投影已知图形的DLP微型投影仪、用于采集受待测物体影响发生偏折或变形图像的照相装置、用于数据处理的计算机和用于放置待测物体的载物平台；所述DLP微型投影仪设置于所述载物平台的上方，其接受所述计算机编码设定的图形，并将其图形垂直投影到待测物体上；所述照相装置倾斜设置于所述载物平台的上方，所述照相装置的拍摄图像包括所述图形受待测物体影响而发生偏折或变形的图像；所述照相装置包括CCD相机、Scheimpflug倾斜调整器和镜头，所述镜头通过所述Scheimpflug倾斜调整器连接于所述CCD相机，所述CCD相机的CCD芯片相对所述镜头的平面倾斜，其倾斜夹角为A；所述CCD芯片的平面、所述镜头的平面与所述待测物体的平面相交于同一条直线；所述计算机分别与所述DLP微型投影仪和所述照相装置连接。