[发明专利]带电粒子显微镜中的复合扫描路径

摘要

本发明涉及带电粒子显微镜中的复合扫描路径。一种扫描类型带电粒子显微镜，包括：‑样本保持器，用于保持样本；‑源，用于产生带电粒子射束；‑照射器，用于引导所述射束以便辐照所述样本；‑检测器，用于检测响应于所述辐照而从所述样本发射出的辐射通量；‑扫描装置，用于产生所述射束和样本的相对扫描运动以便使射束在所述样本上描绘出扫描路径；‑可编程控制器，其可以被调用来在所述显微镜中执行至少一个自动化程序，其特征在于：‑所述扫描装置包括：▪长行程扫描装置，用于实现相对大幅度和相对低频率的扫描运动；▪短行程扫描装置，用于实现相对小幅度和相对高频率的扫描运动；‑所述控制器可以被调用来描绘出包括相对小幅度的移动的扫描路径，使用所述短行程扫描装置来执行所述相对小幅度的移动，所述相对小幅度的移动组合成得到的相对大幅度的迁移，借助于所述长行程扫描装置来实现所述相对大幅度的迁移。

主权项

1.一种扫描类型带电粒子显微镜，包括：样本保持器，用于保持样本；源，用于产生带电粒子射束；照射器，用于引导所述射束以便辐照所述样本；检测器，用于检测响应于所述辐照而从所述样本发射出的辐射通量；扫描装置，用于产生所述射束的扫描运动以便使射束在所述样本上描绘出扫描路径；以及可编程控制器，其可以被调用来在所述显微镜中执行至少一个自动化程序，其特征在于：所述扫描装置包括：磁场偏转器，用于实现相对大幅度和相对低频率的扫描运动；以及静电场偏转器，用于实现相对小幅度和相对高频率的扫描运动；以及所述控制器被配置成生成一系列周期性设定点并且向所述磁场偏转器和所述静电场偏转器发布所述一系列周期性设定点，来描绘出包括相对小幅度的移动的扫描路径，使用所述静电场偏转器来执行所述相对小幅度的移动，所述相对小幅度的移动组合成得到的相对大幅度的迁移，借助于所述磁场偏转器来实现所述相对大幅度的迁移，其中：高速或高精度运动由所述静电场偏转器来进行，其中将所关联的相对小幅度的第一场偏转以周期性叠加在相对大幅度的第二场偏转上；以及所述射束经受这些叠加的偏转，从而降低对来自所述扫描路径的过冲或反冲的易感性。